Wolter Ⅰ型反射镜面形在线检测装置设计

被引：8

作者：

崔天刚 ^{[1
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]}

王永刚 ^{[1
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]}

马冬梅 ^{[1
]}

马文生 ^{[1
]}

陈波 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

[2] 中国科学院研究生院

来源：

光学精密工程 | 2010年 / 18卷 / 08期

关键词：

WolterI型反射镜; 长程轮廓测量仪; 顺序扫描; 倾斜度测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

由于传统的基于干涉原理的测量方法无法对用于太阳X射线成像仪的WolterI型旋转非球面反射镜进行检测,本文提出了一种在线检测此类反射镜面形的方法。以长程轮廓测量仪的原理为基础,经过改进、整合测量装置并在扫描机构中加入五角棱镜转折光路,搭建了一套WolterI型旋转非球面反射镜面形检测装置,并对该装置的工作原理、结构参数设定以及数据处理算法等进行了研究。用一块标准平面反射镜作为基准面对该装置定标,并通过实测反射镜样品进行验证实验。实验结果表明:该装置的倾斜度测量误差为RMS6.7μrad,重复精度为0.75μrad,轮廓测量精度约为PV0.24λ,RMS0.07λ,基本满足设计要求。

引用

页码：1801 / 1806

页数：6

共 6 条

[1] 五角棱镜扫描系统中调整误差及制造角差的影响分析 [J].