全自动上芯机的晶片检测系统

被引:3
作者
廖广军
胡跃明
戚其丰
张浩
机构
[1] 华南理工大学自动化科学与工程学院
关键词
全自动上芯机; 图像预处理; 晶片检测;
D O I
暂无
中图分类号
TN407 [测试和检验];
学科分类号
摘要
全自动上芯机是用于芯片生产后工序的关键设备之一,IC检测系统是其核心技术。晶片检测系统主要构件包括光源,CCD,图像采集卡等硬件设施,以及专用的芯片处理检测算法。文章详细介绍了基于图像处理的晶片专用检测系统的搭建,分析了图像检测要求,提出了相应的检测算法。系统地完成图像采集、图像预处理、芯片定位、芯片检测等多个功能。
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