基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器

被引：10

作者：

杨旭东 ^{[1
]}

陈育荣 ^{[2
]}

谢铁邦 ^{[2
]}

机构：

[1] 华中科技大学机械学院

[2] 华中科技大学

来源：

关键词：

迈克尔逊干涉; 位移传感器; 光电管; 信噪比;

D O I：

10.16567/j.cnki.1000-7008.2007.06.031

中图分类号：

TP212.12 [];

学科分类号：

摘要：

介绍了一种新型的基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器,分析了其光学原理、测量电路和信号细分方法。该位移传感器还采用了一种新的光电管排列方法,使得信噪比较传统的光电管排列方法有极大的提高并且更便于光学调整。该传感器的测量分辨率高达5nm,可应用于表面形貌的高精度测量。

引用

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