微型电场传感器在工频电场测量中的应用研究

被引:16
作者
仝杰 [1 ]
雷煜卿 [1 ]
刘国华 [2 ,3 ]
王鹤 [2 ,3 ]
金学明 [2 ,3 ]
杨鹏飞 [4 ]
彭春荣 [4 ]
机构
[1] 中国电力科学研究院有限公司
[2] 北京智芯微电子科技有限公司电力芯片设计分析实验室
[3] 北京智芯微电子科技有限公司北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心
[4] 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
关键词
电场传感器; 工频电场; 正交相关检测;
D O I
暂无
中图分类号
TP212.1 [物理传感器];
学科分类号
摘要
该文基于高性能的MEMS电场敏感芯片研制出一种新型的工频电场测量系统。针对芯片调制被测电场后其输出信号的特征,采用正交相关检测原理提出一种可抑制背景干扰噪声的工频电场解调算法,设计出小型化、空间分辨力高的工频电场测量探头,并在基础上提出MEMS工频电场测量系统的系统级设计方案,成功实现了MEMS电场敏感芯片输出信号的无线采集、滤波、以及电场信号的高精度解调。高压输电线路下工频电场测量结果表明,MEMS工频电场测量系统与传统电场测量仪的测量结果具有良好的一致性。
引用
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页码:3036 / 3041
页数:6
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