平行双关节坐标测量机连杆微变形测量系统

为准确测量平行双关节坐标测量机零件弹性变形量,从而对由此引起的测量误差进行补偿,进一步提高平行双关节坐标测量机测量精度和可靠性,介绍了一种基于PSD位移检测的杆件微变形测量方法,通过激光参考光束将变形量的测量转化为位移量的测量。以FPGA为核心搭建信号转换、采集及传输电路。在Lab VIEW环境编写上位机软件分析测量数据。使用ANSYS软件进行力学仿真分析提出测量系统应具备的精度指标及测量范围。使用激光干涉仪标定系统响应特性,通过2D等电压间隔输出实验测定PSD有效面积内的位移响应矩阵,采用2D双三次样条插值法修正系统响应的非线性误差。实验证实系统可实现1.32μm(2σ)的位移测量精度。可用于平行双关节坐标测量机杆件变形测量,且其安装尺寸较小,可以实现在线检测。