基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法

被引：34

作者：

节德刚

刘延杰

孙立宁

陈智超

蔡鹤皋

机构：

[1] 哈尔滨工业大学机器人研究所

来源：

光学精密工程 | 2007年 / 07期

关键词：

位移测量; 双光栅尺; 切换合成; FPGA;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH822 [位移测量仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

提出了一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法。在分析光栅尺测量原理的基础上,探讨双光栅尺信号的切换合成;通过对莫尔条纹电子细分计数脉冲切换误差的分析,研究减小切换合成误差的方法;采用可编程逻辑器件FP-GA设计信号处理电路,并通过逻辑、时序仿真,验证了本方法的可行性。实验结果表明:此方法在光栅尺移动速度>1m/s时,具有10 nm分辨率,可满足新一代运动定位系统对高速高精度位移测量的要求。

引用

页码：1077 / 1083

页数：7

共 10 条

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