320×256 GaAs/AlGaAs长波红外量子阱焦平面探测器

被引：12

作者：

金巨鹏

刘丹

王建新

吴云

曹菊英

曹妩媚

林春

机构：

[1] 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室

来源：

红外与激光工程 | 2012年 / 04期

关键词：

量子阱红外探测器; GaAs/AlGaAs; 焦平面; 红外热成像;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN215 [红外探测、红外探测器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

量子阱红外探测器(Quantum well infrared photodetector,QWIP)已经经历了20多年的深入研究,各种QWIP器件,包括量子阱红外探测器焦平面阵列(FPA)的研制也已经相当成熟。但是在国内,受制于整体工业水平,QWIP焦平面阵列器件的研制仍然处于起步阶段。研制了基于GaAs/AlxGa1-xAs材料、峰值响应波长为9.9μm的长波320×256 n型QWIP焦平面阵列器件,其像元中心距25μm,光敏元面积为22μm×22μm。GaAs衬底减薄后的QWIP焦平面阵列,与Si基CMOS读出电路(ROIC)通过铟柱倒焊互连,并且在65 K工作温度下进行了室温环境目标成像。该焦平面器件的规模和成像质量相比之前国内报道的结果都有较大提高。焦平面平均峰值探测率达1.5×1010cm.Hz1/2/W。

引用

页码：833 / 837

页数：5

共 6 条

[1] 320×256 GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器 [J].

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