小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构

被引：11

作者：

殷功杰

范正修

邵建达

机构：

[1] 中国科学院上海光机所

[2] 中国科学院上海光机所上海

[3] 上海

来源：

中国激光 | 1993年 / 12期

关键词：

小角衍射; 软X射线; 多层膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶K?线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20nm附近的正入射反射率接近10％。

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页数：6

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共 2 条

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