“黑硅”表面特殊锥状尖峰结构的制备及其光学模型仿真

被引：19

作者：

吴文威

徐嘉明

陈宏彦

机构：

[1] 上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心

来源：

中国激光 | 2011年 / 38卷 / 06期

关键词：

激光技术; 飞秒激光加工; 黑硅; 锥状尖峰结构; “陷光”作用;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN241 [激光物理和基本理论];

学科分类号：

0702 ; 070207 ;

摘要：

为了更好地理解"黑硅"材料高吸收效率的物理原因,在成功制备了表面具有不同高度的锥状尖峰结构的"黑硅"材料基础上,利用扫描电子显微镜(SEM)获得锥状尖峰的几何参数,并根据该参数进行"黑硅"表面特殊结构建模,计算出"黑硅"材料有效吸收表面积相对于普通平面硅材料的有效吸收表面积增加了20多倍;同时根据表面建模和几何光学的方法在200～2000 nm的光谱范围内进行了反射率仿真,仿真结果与实验测试数据较为接近,从而在理论上验证了该特殊结构的强吸收性是由飞秒激光加工的硅材料有效吸收表面积增加和"黑硅"结构的陷光效应而引起的。

引用

页码：246 / 250

页数：5

共 7 条

[1] 飞秒激光烧蚀硅表面产生微纳结构过程中激光脉冲数目的影响 [J].