MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究

被引：7

作者：

尹韬

杨海钢

机构：

[1] 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北方基地

来源：

关键词：

电容读出电路; MEMS电容传感器; 电容分辨率; CMOS;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN405 [制造工艺];

学科分类号：

摘要：

MEMS电容式传感器的迅速发展为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战.系统地分析了制约微传感器高精度电容读出电路设计的主要因素,回顾了目前主要的几种读出电路结构,阐述了这些电路的基本原理,并对影响电路分辨率的主要设计参数进行了分析和对比,最后探讨了电容式读出电路设计的发展趋势.

引用

页码：1188 / 1193

页数：6

共 4 条

[1]

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