双金属热致动微型泵

被引：7

作者：

杨岳，周兆英，叶雄英，江小宁

机构：

[1] 清华大学

来源：

关键词：

微型泵; 整体性能; 结构设计; 执行器; 薄膜型; 微泵; 化工用泵; 薄膜泵; 泵腔; 硅微细加工; 热致动;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1996.s1.099

中图分类号：

TH38 [各种用途];

学科分类号：

080704 ;

摘要：

微型泵是一种重要的微型执行器，在微流体供给和控制、微量元素分析、芯片冷却系统等方面将有重要应用。本文利用硅微细加工技术制作出热致动微型泵，该泵采用薄膜型结构设计及双向驱动方式，它具有体积较小、工艺简单、易于集成，效率高和流量较大等特点。

引用

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