共 8 条
- [8] 机器视觉[M]. 科学出版社 , 贾云得编著, 2000
图像处理在晶圆瑕疵自动标记系统中的应用
被引：5
作者：
蒋登峰
[1
]
周娟
[2
]
机构：
[1] 杭州市士兰微电子股份有限公司
[2] 中国计量学院质量与安全工程学院
来源：
关键词：
图像处理;
晶圆瑕疵;
最小二乘法;
坐标变换;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN305 [半导体器件制造工艺及设备];
学科分类号：
1401 ;
摘要：
针对传统晶圆测试手工标记瑕疵的不足,提出了应用机器视觉技术进行晶圆瑕疵的自动标记.首先,对晶圆图像进行预处理,提取晶圆边缘图像;其次,利用最小二乘法检测晶圆的直径.在此基础上通过坐标变换获得晶圆瑕疵的坐标,将其传递给探针台,由探针台自动将有瑕疵的晶圆剔除.最后,通过实验验证了该方法的实用性与有效性.
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页码：167 / 170
页数：4
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