温度和氮掺杂对钛表面热氧化层形成的影响

将纯钛置于真空管式高温炉中,分别通入氧气和不同比例的氧气和氮气在500￣800℃进行热处理,得到氧化层和氮掺杂氧化层;研究了氧化温度和氧氮比对形成钛表面氧化层的组织成分和相结构的影响。结果表明,纯钛经500￣800℃热氧化处理后,表面均生成金红石二氧化钛薄膜,且随着温度的升高,表面氧化层厚度增加。与只通入氧气比较,同时通入氮气可促进金红石二氧化钛薄膜的生成,氮以固溶体的形式存在于二氧化钛薄膜中,无钛氮化合物生成。氧元素含量在膜层中呈梯度分布,生成的二氧化钛膜与基体有较好的结合强度。