MODELING OF CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION .2. GAS-PHASE EPITAXY OF (100) GAAS

被引：42

作者：

KOREC, J

HEYEN, M

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(82)90102-6

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：297 / 306

页数：10

共 14 条

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