LASER-CHEMICAL MODIFICATION OF NUCLEATION BARRIERS FOR AREA-SELECTIVE THIN-FILM GROWTH

被引:26
作者
TSAO, JY
EHRLICH, DJ
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(84)90414-7
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页码:176 / 187
页数:12
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