共 2 条
RAPID CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF SI3N4
被引:13
作者:
HIRAI, T
[1
]
NIIHARA, K
[1
]
GOTO, T
[1
]
机构:
[1] TOHOKU UNIV,IRON STEEL & OTHER MET RES INST,SENDAI,MIYAGI 980,JAPAN
关键词:
D O I:
10.1007/BF00540292
中图分类号:
T [工业技术];
学科分类号:
08 ;
摘要:
引用
收藏
页码:631 / 632
页数:2
相关论文