PHOTON ENHANCED OXIDATION OF SILICON

被引：52

作者：

YOUNG, EM ^{[1
]}

TILLER, WA ^{[1
]}

机构：

[1] STANFORD UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,STANFORD,CA 94305

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.93726

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：63 / 65

页数：3

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