LOCAL BONDING OF OXYGEN AND HYDROGEN IN A-SI=H=O THIN-FILMS

被引:60
作者
LUCOVSKY, G
POLLARD, WB
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1983年 / 1卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.572121
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:313 / 316
页数:4
相关论文
共 16 条