DIGITAL BEAM CONTROL FOR FAST DIFFERENTIAL VOLTAGE CONTRAST

被引：10

作者：

SARDO, A ^{[1
]}

VANZI, M ^{[1
]}

机构：

[1] TELETTRA SPA,I-40126 BOLOGNA,ITALY

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/sca.4950060302

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：122 / 127

页数：6

共 6 条

[1] EXAMPLES OF IMAGE-PROCESSING USING A COMPUTER-CONTROLLED SEM
ARTZ, BE
[J]. SCANNING, 1983, 5 (03) : 129 - 136
[2] FLEMMING JP, 1970, SCANNING ELECTRON MI, P465
[3] FUNDAMENTALS OF ELECTRON-BEAM TESTING OF INTEGRATED-CIRCUITS
MENZEL, E
KUBALEK, E
[J]. SCANNING, 1983, 5 (03) : 103 - 122
[4] ISOLATION OF POTENTIAL CONTRAST IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
OATLEY, CW
[J]. JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1969, 2 (08): : 742 - &
[5] PIWCZYK B, 1974, 12TH ANN P IEEE REL, P49
[6] 1979, TN1310 TRAC NO INC