ANALYSIS OF THERMAL STRESS-INDUCED GRAIN-BOUNDARY CAVITATION AND NOTCHING IN NARROW AL-SI METALLIZATIONS

被引：49

作者：

LI, CY

BLACK, RD

LAFONTAINE, WR

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1988年 / 53卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1063/1.100113

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：31 / 33

页数：3

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