OXIDE FILMS GROWN ON GAAS IN AN OXYGEN PLASMA

被引：53

作者：

WEINREICH, OA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1782162

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：2924 / +

页数：1

共 6 条

ABELES, F .

JOURNAL DE PHYSIQUE ET LE RADIUM, 1950, 11 (07) :310-314

[2]

EVANS OR, 1960, CORROSION OXIDATION, P27

LEWIS, AE .

[4] SILICON OXIDATION IN AN OXYGEN PLASMA EXCITED BY MICROWAVES [J].

LIGENZA, JR .

[5] THERMAL OXIDATION OF GAAS [J].

MINDEN, HT .

[6] AN AMORPHOUS MODIFICATION OF GALLIUM-ARSENIC (V) OXIDE [J].

REVESZ, AG ;

ZAININGER, KH .