EPITAXIAL DEPOSITION OF SILICON ON QUARTZ

被引：6

作者：

JOYCE, BA

BICKNELL, RW

CHARIG, JM

STIRLAND, DJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1098(63)90424-1

中图分类号：

O469 [凝聚态物理学];

学科分类号：

070205 ;

摘要：

引用

页码：107 / 108

页数：2

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共 5 条

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