ARGUMENTS FOR ELECTRON CONDUCTION IN SILICON-NITRIDE

被引:19
作者
YAU, LD
机构
关键词
D O I
10.1109/EDL.1984.25930
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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POLLAK, RA .
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WEINBERG, ZA ;
JOHNSON, WC ;
LAMPERT, MA .
APPLIED PHYSICS LETTERS, 1974, 25 (01) :42-43