THE INCORPORATION OF PHOSPHORUS IN AMORPHOUS-SILICON

被引:10
作者
LEIDICH, D
LINHART, E
NIEMANN, E
GRUENINGER, HW
FISCHER, R
ZEYFANG, RR
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(83)90658-0
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页数:4
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