QUANTUM-CHEMICAL APPROACH TO THE ELEMENTARY STEPS OF PLASMA-ETCHING

被引：6

作者：

FRICKE, DK

MULLER, H

OPITZ, C

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0009-2614(83)80759-3

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：421 / 424

页数：4

共 19 条

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