STEPS ON (001) SILICON SURFACES

被引:19
作者
ASPNES, DE
IHM, J
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.583694
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:939 / 944
页数:6
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