IONIZED-CLUSTER BEAM DEPOSITION

被引：105

作者：

TAKAGI, T ^{[1
]}

YAMADA, I ^{[1
]}

SASAKI, A ^{[1
]}

机构：

[1] KYOTO UNIV,DEPT ELECTR,KYOTO,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568474

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1128 / 1134

页数：7

共 13 条

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