TRAPS CREATED AT THE INTERFACE BETWEEN THE NITRIDE AND THE OXIDE ON THE NITRIDE BY THERMAL-OXIDATION

被引：33

作者：

SUZUKI, E

HAYASHI, Y

ISHII, K

TSUCHIYA, T

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.94018

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：608 / 610

页数：3

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共 5 条

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