INVESTIGATION OF ION-IMPLANTED LAYERS BY SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY

被引：10

作者：

ROTHEMUND, W ^{[1
]}

FRITZSCHE, CR ^{[1
]}

机构：

[1] FRAUNHOFER GESELL,INST ANGEW FESTKORPER PHYS,D-7800 FREIBURG,FED REP GER

来源：

APPLIED PHYSICS | 1976年 / 10卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00896330

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：111 / 119

页数：9

共 8 条

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