ATOM-PROBE STUDY OF THE INITIAL-STAGE OF SILICIDE FORMATION

被引：12

作者：

NISHIKAWA, O

TSUNASHIMA, Y

NOMURA, E

WADA, M

HORIE, S

SHIBATA, M

YOSHIMURA, T

UEMORI, R

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(83)90753-7

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：529 / 533

页数：5

共 5 条

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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1979, 16 (05) :1112-1119