STUDY OF OXIDATION OF TANTALUM NITRIDE BY ELLIPSOMETRY AND AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY

被引：6

作者：

ADAMS, JR ^{[1
]}

KRAMER, DK ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(76)90469-6

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：482 / 487

页数：6

共 6 条

[1]

BERRY RW, 1968, THIN FILM TECHNOLOGY, P343

[2]

HAMPY RE, COMMUNICATION

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