DIRECT WRITING OF 10-NM FEATURES WITH THE SCANNING TUNNELING MICROSCOPE

被引:94
作者
EHRICHS, EE
YOON, S
DELOZANNE, AL
机构
关键词
D O I
10.1063/1.100255
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2287 / 2289
页数:3
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