FUNDAMENTALS OF ION-BEAM-ASSISTED DEPOSITION - TECHNIQUE AND FILM PROPERTIES

被引:58
作者
HUBLER, GK
机构
来源
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING | 1989年 / 115卷
关键词
D O I
10.1016/0921-5093(89)90677-1
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
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页码:181 / 192
页数:12
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