THE PRECISION IMPLANT 9000 BEAM LINE

被引：7

作者：

AITKEN, D

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(87)90841-X

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：274 / 279

页数：6

共 3 条

[1]

AITKEN D, 1986, IN PRESS VACUUM

HALL, JM ;

GLAWISCHNIG, H ;

HOLTSCHMIDT, W .

[3] NEW ION-IMPLANTATION SYSTEM WITH ADVANCED PROCESS CAPABILITIES [J].

WAUK, MT .