THE DEPOSITION CHARACTERISTICS AND THE STRUCTURAL NATURE OF THE DEPOSIT IN THE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF BORON

被引:8
作者
PARK, CS [1 ]
YOO, JS [1 ]
CHUN, JS [1 ]
机构
[1] KOREA ADV INST SCI & TECHNOL,DEPT MAT SCI & ENGN,SEOUL 131,SOUTH KOREA
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(85)90141-5
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
18
引用
收藏
页码:205 / 214
页数:10
相关论文
共 18 条