THERMALLY EXCITED SILICON MICROACTUATORS

被引:177
作者
RIETHMULLER, W
BENECKE, W
机构
[1] Fraunhofer-Inst fuer, Mikrostrukturtechnik, Berlin, West, Ger, Fraunhofer-Inst fuer Mikrostrukturtechnik, Berlin, West Ger
关键词
D O I
10.1109/16.2528
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
20
引用
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页码:758 / 763
页数:6
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