SURFACE PROFILING BY PHASE-LOCKED INTERFEROMETRY

被引:31
作者
MATTHEWS, HJ
HAMILTON, DK
SHEPPARD, CJR
机构
来源
APPLIED OPTICS | 1986年 / 25卷 / 14期
关键词
D O I
10.1364/AO.25.002372
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
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页码:2372 / 2374
页数:3
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