KINETICS OF TITANIUM SILICIDE FORMATION ON SINGLE-CRYSTAL SI - EXPERIMENT AND MODELING

被引：42

作者：

PICO, CA

LAGALLY, MG

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1988年 / 64卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1063/1.342445

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：4957 / 4967

页数：11

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