PROPERTIES OF SUPERCONDUCTING RF SPUTTERED ULTRATHIN FILMS OF NB

被引:101
作者
WOLF, SA [1 ]
KENNEDY, JJ [1 ]
NISENOFF, M [1 ]
机构
[1] USN,RES LAB,WASHINGTON,DC 20375
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.568809
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:145 / 147
页数:3
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