FORMATION OF ALUMINUM NITRIDE BY NITROGEN-ION IMPLANTATION IN ALUMINUM SINGLE-CRYSTAL

被引：5

作者：

KIMURA, K

ONITSUKA, Y

NAKANISHI, K

MANNAMI, M

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1984年 / 23卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.23.1145

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1145 / 1145

页数：1

共 3 条

KIDO, Y ;

KAKENO, M ;

YAMADA, K ;

HIOKI, T ;

KAWAMOTO, J ;

TADA, M .

LIESKE, N ;

HEZEL, R .

MORITA, M ;

UESUGI, N ;

ISOGAI, S ;

TSUBOUCHI, K ;

MIKOSHIBA, N .