THE ROLE OF CHLORINE IN THE GETTERING OF METALLIC IMPURITIES FROM SILICON

被引：3

作者：

BAGINSKI, TA ^{[1
]}

MONKOWSKI, JR ^{[1
]}

机构：

[1] RADIO SEMICOND INC,STATE COLL,PA 16801

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2114277

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：2031 / 2033

页数：3

共 5 条

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