OSCILLATING-ANALYZER ELLIPSOMETER

被引：21

作者：

AZZAM, RMA

机构：

[1] UNIV NEBRASKA,COLL MED,DIV HEMATOL,OMAHA,NB 68105

[2] UNIV NEBRASKA,COLL ENGN,ELECT MAT LAB,LINCOLN,NB 68508

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1134702

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：624 / 628

页数：5

共 26 条

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