CLOSE-SPACED VAPOR TRANSPORT COMBINED WITH FREE EVAPORATION FOR DOPING OF SEMICONDUCTOR THIN-FILMS

被引：20

作者：

CASTRORODRIGUEZ, R

PENA, JL

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1993年 / 11卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.578801

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：730 / 731

页数：2

共 7 条

[1] ELECTRICAL-PROPERTIES OF CDTE-FILMS AND JUNCTIONS [J].

ANTHONY, TC ;

FAHRENBRUCH, AL ;

PETERS, MG ;

BUBE, RH .

BAJOR, G ;

GREENE, JE .

FORTMANN, CM ;

FAHRENBRUCH, AL ;

BUBE, RH .

MENEZES, C ;

FORTMANN, C ;

CASEY, S .

[5]

Menezes C., 1982, Fourth E.C. Photovoltaic Solar Energy Conference. Proceedings of the International Conference, P836

[6]

SOSA V, 1989, J VAC SCI TECHNOL A, V8, P979

[7]

SUZUKI T, 1988, JPN J APPL PHYS, V26, P1626