STUDY OF THE ENHANCED OXIDATIVE-DEGRADATION OF POLYMER-FILMS AT POLYMER COPPER (OXIDE) INTERFACES USING DEPTH PROFILE AND INERT MARKER TECHNIQUES

被引:17
作者
BURRELL, MC [1 ]
FONTANA, J [1 ]
CHERA, JJ [1 ]
机构
[1] GE SILICONE PROD,WATERFORD,NY 12188
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.575447
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:2893 / 2896
页数:4
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