INFLUENCE OF HEAT-TREATMENT ON MORPHOLOGICAL AND ELECTRICAL-PROPERTIES OF GAAS EPILAYER-SUBSTRATE INTERFACE

被引：14

作者：

KAUFMANN, LMF

HEIME, K

BURCHARD, WG

机构：

[1] TECH UNIV AACHEN,INST SEMICOND ELECTR,SONDER FORSCH BEREICH 56 FESTKORPERELEKTRONIK,D-5100 AACHEN,FED REP GER

[2] TECH UNIV AACHEN,GEMEINSCHAFTSLABOR ELEKTRONENMIKROSKOPIE,D-5100 AACHEN,FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(76)90142-1

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：289 / 297

页数：9