KINETICS OF COMPOUND FORMATION IN THIN-FILM COUPLES OF AL AND TRANSITION-METALS

被引:107
作者
HOWARD, JK
LEVER, RF
SMITH, PJ
HO, PS
机构
[1] IBM CORP,SYST PROD DIV,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533
[2] IBM CORP,RES DIV,YORKTOWN HTS,NY 10598
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.568959
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:68 / 71
页数:4
相关论文
共 15 条