THE EFFECT OF GAS PURITY ON THE REFLECTANCE AND RESISTIVITY OF MAGNETRON SPUTTERED ALUMINUM AND ITS ALLOYS

被引：4

作者：

NYAIESH, AR

HOLLAND, L

机构：

来源：

VACUUM | 1982年 / 32卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(82)93845-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：735 / 736

页数：2

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共 3 条

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NYAIESH AR, VACUUM