ELECTRON-BEAM-INDUCED CURRENT MEASUREMENTS - COMPARISON OF BARRIER-BEAM PARALLEL AND PERPENDICULAR GEOMETRIES

被引：7

作者：

DIXON, AE ^{[1
]}

WILLIAMS, DF ^{[1
]}

DAS, SR ^{[1
]}

WEBB, JB ^{[1
]}

机构：

[1] NATL RES COUNCIL CANADA,DIV CHEM,SEMICOND GRP,OTTAWA K1A 0R6,ONTARIO,CANADA

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.335240

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：2963 / 2966

页数：4

共 7 条

DIXON, AE ;

WILLIAMS, DF .

FUYUKI, T ;

MATSUNAMI, H ;

TANAKA, T .

IOANNOU, DE ;

DAVIDSON, SM .

IOANNOU, DE ;

DIMITRIADIS, CA .

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