SIMS EVALUATION OF CONTAMINATION ON ION-CLEANED (100) INP SUBSTRATES

被引：21

作者：

DOWSETT, MG ^{[1
]}

KING, RM ^{[1
]}

PARKER, EHC ^{[1
]}

机构：

[1] SIR JOHN CASS SCH SCI & TECHNOL,DEPT PHYS,LONDON EC3N 2EY,ENGLAND

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1977年 / 31卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1063/1.89765

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：529 / 531

页数：3

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