NOVEL FABRICATION METHOD OF QUARTER-WAVE-SHIFTED GRATINGS USING ECR-CVD SINX FILMS

被引:4
作者
SUGIMOTO, H
ABE, Y
MATSUI, T
OGATA, H
机构
[1] Mitsubishi Electric Corp, Amagasaki, Jpn, Mitsubishi Electric Corp, Amagasaki, Jpn
关键词
D O I
10.1049/el:19870875
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
9
引用
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页码:1260 / 1261
页数:2
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